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在線激光氧分析儀基于可調諧激光光譜技術，當激光的頻率與被測氣體分子的躍遷頻率一致時，激光束的能量會被吸收，利用探測器得到經被測氣體吸收后的激光強度，得到氣體吸收光譜，通過對光譜的分析可以得到被測氣體濃度。